Mikromechanische Sensoren und Aktoren

Dozenten

Stefan Blunier und Rudolf Buser

Nummer

151-0537-00L

Zeitpunkt

Wintersemester

Vorlesung: Donnerstag, 10-12

Übungen: Donnerstag, 12-13

Sprache

Deutsch

Kurzbeschreibung

Inhalt

Die Mikromechanik bietet die Möglichkeit, funktionelle Bauelemente in der Grössenordnung von Mikrometern für mechanische, optische, chemische etc. Anwendungen herzustellen. Die mechanischen Sensoren (für Druck, Kraft, Beschleunigung, Temperatur etc.) und Aktuatoren werden besprochen. Miteinbezogen sind die grundsätzlichen elektronischen Auswerteschaltungen sowie Integrationsmöglichkeiten. Im besonderen gliedert sich die Vorlesung wie folgt: Grundlagen der Mikrotechnologie, physikalische Prinzipien und Effekte zur Signalumwandung, mikromechanische Sensoren und Aktuatoren, die daraus hervorgehen, Mikrosystemtechnik.

Lernziel

Der Student soll am Ende eine Übersicht über die Möglichkeiten der mechanischen Festkörpersensoren haben und Konzepte für deren Design, Herstellung und Betrieb entwerfen können. Studenten der Ingenieurwissenschaften.

Skript

Ja

Literatur

Besonderes

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22.08.08 | Stephan Kaufmann | ZfM | ETH